半導体やIT情報機器用ウェーハの研削工程において、ウェーハの平坦度は非常に重要となります。
特に、回転精度の中でも非同期触れ（NRRO）は、高い精度を要求されます。当社の「静圧エアテーブル」や
「静圧エアスピンドル」は、ウェーハ研削用装置等で数多く採用されています。
●静圧エアテーブル・静圧スピンドルの強み
・エアベアリングによる非接触支持
・高精度な回転精度、非同期振れ（NRRO）50nm
・潤滑油を使用していないので、クリーン環境で使用可能
・エア消費量を抑えた省エネ設計
・高い負荷容量
●静圧エアテーブル
静圧エアテーブルは、静圧エアベアリングユニットとも呼ばれています。当社は、テーブル径φ55mmとφ250mmをラインナップ。
専用設計での製作も可能です。半導体製造装置や測定装置への搭載に実績ありますので、お気軽にご相談ください。
●静圧エアスピンドル
当社では、ビルトインタイプの立形・横形の静圧スピンドルの製造実績も多数あります。
用途に合わせた一品一様の設計も承ります。お気軽ご相談ください。
