精度从微米上升到纳米，实现了非周期性跳动50纳米！！

在半导体和IT通信装置的硅片磨削工艺中，硅片的平整度至关重要。
特别是在旋转精度方面，对非周期性跳动（NRRO）的精度要求也是尤为严格。
本公司的“静压气动工作台”和“静压气动主轴”已被广泛应用于硅片磨床以及其他设备。

●静压气动工作台和静压气动主轴的优势
・空气静压非接触式支撑
・高精度的回转精度,非周期性跳动（NRRO）50纳米
・无需润滑油，可以在无尘环境中使用
・耗气量低，节能设计
・高负荷容量

●静压气动工作台
静压气动工作台也被称为静压气动轴承单元。工作台规格分为直径φ55mm和直径φ250mm。
也承接特殊规格的设计和制作。在半导体设备和检测装置的应用方面拥有实际案例，欢迎咨询。


●静压气动主轴
本公司也有立式・卧式电机内置款静压主轴的产品。
我们也承接根据用途量身定制的专属设计。欢迎咨询。